YokoHama Research, Inc.  株式会社 横浜総合研究所


技術紹介>監視システム

 1台のPCに複数のカメラを接続し、リアルタイムにカメラ(またはカメラグループ)別に割り当てられた監視と
タスクを実行します。物理的に接続可能であれば、接続カメラ数に上限はありません。

 また、カメラ映像だけでなく、音声やセンサーデータなどの時系列信号の監視や、画像や信号データとを組合わせた
監視などが可能です。

 弊社が提供する監視システムは、大きく分けると以下の2つの方式があります。


 (1)事前に状態学習を行う方式

   ■正常状態との比較による異常監視 : 事前に正常な状態を一定時間学習モードで撮影し、登録します。
                      登録された学習状態を、詳しく分析表示することができるので、
                     監視基準は明確に定義されます。
                      正常状態は変化・変動してもかまいません。
                      追加学習により、多重に学習登録することや編集削除が可能です。

   ■特定状態との比較による状態識別 : ある特定状態を一定時間学習モードで撮影し、状態名称を教示します。


 (2)事前の状態学習が不要な方式

   ■自動学習状態との比較による監視 : 常に自動学習しながら監視するモードです。
                      設定レベル以上の変化・変動を自動的に学習登録していきます。
                      定期的に自動学習登録された状態内容を確認し、メンテナンスを行う
                     ことで、より高度で安定した監視が可能になります。
                      事前学習方式との併用が可能です。

   ■組み込まれた処理による状態監視 : 特定の状態や、事故、火災・自然災害などの事前に想定したシーンを
                     画像処理、画像認識技術等で検知するするものです。
                      上記の各モードとの併用が可能です。


 なお、異常や特定の状態を判断した際には、

  A)計測
  B)分類
  C)診断
  D)制御

等のタスク処理を実装することで、大規模な製造プロセス・製造プラント等への応用が広がります。


■実績

 国内・海外の大手半導体製造メーカにおいて、本システムを搭載した大口径ウエハ製造プロセスの監視装置が、多数稼動しております。